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傷つきにくいサファイアウィンドウ モース硬度9 半導体装置用ビューポート
제품 사양
원산지:
중국 광둥
브랜드 이름:
ECER Optics
인증:
ISO 9001:2015
모델 번호:
SW-SEM-하드
최소 주문 수량:
10개
가격:
USD 8-50 / Piece
지불 조건:
T/T, 페이팔, 웨스턴 유니온
공급 능력:
달 당 30000 조각
제품 세부정보
강조하다:
긁힘 방지 사파이어 창
,半導体装置用ウィンドウ
,モース硬度9 光学部品
Product Name:
긁힘 방지 사파이어 창
Application:
반도체 웨이퍼 처리
Hardness:
모스 9
Material:
단결정 사파이어 Al2O3
Diameter:
맞춤형 10mm - 200mm
Chemical Resistance:
산, 염기, 내플라즈마성
Surface Quality:
60-40 스크래치 발굴
Flatness:
람다/4
제품 설명
스크래치 저항성 사파이어 창 모스 9 반도체 장비 전망대
이 스크래치 저항성 사파이어 창문은 반도체 장비의 전망대용으로 만들어졌습니다. 프로세스 챔버는 창문을 플라즈마, 입자 경사 및 공격적인 청소 화학 물질에 노출시킵니다.창문은 9의 모스 경도가 있는 단일 결정 사피르로 만들어졌습니다., 다이아몬드 다음으로, 그것은 유리 또는 쿼츠 뷰 포트보다 훨씬 더 오랫동안 깨끗한 광적 표면을 유지할 수 있습니다.
연속적으로 작동하는 웨이퍼 처리 도구의 경우, 스크래치 저항성 사파이어 창은 유지 보수 정지 시간을 줄이고 방의 수명 동안 검사 영상을 일관되게 유지합니다.반도체 환경은 딱딱함 이상의 것을 요구합니다, 그래서 이 사파이어 창문은 또한 산, 염기, 플라즈마 화학에 대한 화학적 저항성, 그리고 공정 사이클의 온도 변동에 대한 열 안정성을 위해 지정됩니다.
각 창문은 60-40 스크래치 파드 표면 품질로 램프다 평면이 4 이상으로 닦이고 가장자리 프로파일은 마운팅 플랜지에서 스트레스 농도를 피하기 위해 맷 및 비벨입니다.10mm에서 200mm까지 사용자 정의 지름과 진공 또는 대기 압력 등급에 맞춘 두께가 제공됩니다., 그리고 각 운송에는 장비 자격을 위한 재료 인증서와 차원 검사 기록이 포함되어 있습니다.
기술 사양
| 제품 이름 | 스크래치 저항성 사피어 창문 |
|---|---|
| 소재 | 단일 크리스탈 사피어 Al2O3 |
| 단단함 | 모스 9 |
| 직경 | 맞춤형 10mm - 200mm |
| 두께 | 10.0mm - 8.0mm 맞춤형 |
| 표면 품질 | 60-40 스크래치 파기 |
| 평면성 | 람바다/4 @ 632.8nm |
| 화학물질 저항성 | 산, 염기, 플라스마 내성 |
| 적용 | 반도체 웨이퍼 처리 |
| 인증서 | RoHS 준수, ISO 9001:2015 |
주요 이점
- 모스 9 강도는 입자와 플라스마로 인한 긁힘에 저항합니다.
- 화학적 무활성성은 공격적인 챔버 청소 화학물질에서 살아남습니다.
- 열 안정 손잡이 분해없이 공정 온도 사이클
- 비벨 된 바닥 가장자리는 장착 플랜지에서의 스트레스 농도를 감소시킵니다.
- 긴 서비스 수명은 뷰포트 교체 빈도와 정지 시간을 줄입니다.
- 소재 인증서 지원 반도체 장비 자격
- 사용자 정의 크기는 진공 및 대기 프로세스 뷰 포트와 일치합니다.
- 유리창을 통해 웨이퍼를 검사할 때 일관된 광학 명료성
스크래치 저항성 사파이어 창문은 반도체 제조의 실제 작동 조건에 따라 설계되었습니다. 반복적인 챔버 개방, 플라즈마 정화 및 가려움직일 입자 흐름.장비 서비스 프로그램에서 현장 데이터는 사파이어 뷰 포트가 일반적으로 에치 및 퇴적 도구에서 쿼츠를 몇 배 더 오래 지속한다는 것을 보여줍니다.이는 제조업체의 소유비용을 직접적으로 감소시킵니다.
이 창문은 평면 디스플레이 처리, 태양 전지 제조 및 진공 코팅 시스템을 포함한 동일한 혹독한 환경 프로필을 공유하는 인접 산업에도 적합합니다.설계 기술자 들 이 설치 지침 을 받습니다, 권장 플랜지 허용도와 밀폐 소재를 포함하여, 그래서 스크래치 저항성 사피르 창문은 재작업없이 기존 뷰포트 디자인에 통합됩니다.
제품 질문 및 답변
질문: 반도체 뷰포트는 왜 쿼츠 대신 사피어가 필요한 걸까요?
프로세스 챔버는 플라즈마, 입자, 반응 화학 물질을 생성하여 쿼츠 뷰포트를 빠르게 깎고 긁으며 광 경로를 흐리게 합니다.모스 9 강도 가 있는 사피어 는 이 손상 을 훨씬 더 긴 주기 로 견딜 수 있다, 그리고 화학적 무활성성 때문에 청소 물질에 의한 분해가 방지됩니다. 그 결과는 더 적은 뷰 포트 변경과 더 안정적인 검사 조건입니다.
Q: 창문 은 어떤 압력 을 받습니까?
압력 등급은 지름, 두께 및 장착 디자인에 따라 달라집니다. 전형적인 25mm에서 100mm 뷰포트에서는 2mm에서 8mm까지 두께가 몇 바의 차차 압력까지 진공을 지원합니다.우리는 당신의 특정 챔버 조건에 대한 권장 두께 계산을 제공합니다.
질문: 창문 은 가시 범위 에서 반사 방지 를 위해 코팅 될 수 있습니까?
네. 많은 반도체 뷰포트들은 최대한의 내구성을 위해 부착되지 않은 사파이어를 사용하지만, 우리는 더 높은 전송이 필요할 때 가시적인 검사 파장을 위해 내구적인 AR 코팅을 적용할 수 있습니다.코팅은 방출 전에 플라즈마 및 화학 노출에 대해 검증됩니다..
질문: 장비 자격증에 대해 어떤 문서를 제공합니까?
각 배송에는 사파이어 재료 인증서, 차원 검사 보고서, 표면 품질 기록 및 RoHS 선언이 포함되어 있습니다.자격 프로그램을 위해 우리는 또한 대량 수준 화학 저항 테스트 데이터와 열 사이클 결과를 제공할 수 있습니다.
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